NSSC OpenIR  > 保障部/保障与试验验证中心
一种高密度大面积等离子体片产生装置
Application NumberCN200820124516.7
程芝峰; 徐跃民; 孙海龙; 吴逢时; 丁亮; 王之江; 孙简
2009
Application Date2008-12-19
Date Available2009-10-28
Country中国
Abstract本实用新型公开了一种高密度大面积等离子体片产生装置,包括:外壳(12)、 外壳(12)内部为真空腔体、与外壳(12)同轴放置的亥姆霍兹线圈(11)、位于外 壳(12)内的阴极(9)及位于外壳(12)内、与阴极(9)相对的阳极(10);阴极 (9)采用沿轴向开口的空心金属管结构,其开口方向与阳极(10)相对,阴极(9) 与阳极(10)平行设置。本装置采用磁约束线形空心阴极放电方式产生高密度大面 积的等离子体片,具有空心阴极增强等离子体密度的作用,使阴阳电极间形成均匀 的、密度在1012cm-3以上、几何尺寸在60cm×60cm以上、厚度维持在2cm左右的 等离子体片(13)。大面积高密度的等离子体在材料表面处理,等离子体与电磁波相 互作用的研究等方面有巨大优势。
Language中文
Document Type专利
Identifierhttp://ir.nssc.ac.cn/handle/122/2158
Collection保障部/保障与试验验证中心
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GB/T 7714
程芝峰,徐跃民,孙海龙,等. 一种高密度大面积等离子体片产生装置[P]. 2009-01-01.
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