| 一种有源静电电场探头 | |
| Application Number | CN201110228907.X |
| 全荣辉; 韩建伟; 张振龙; 黄建国; 封国强; 李宏伟 | |
| 2012 | |
| Application Date | 2011-08-10 |
| Date Available | 2012-04-11 |
| Country | 中国 |
| Abstract | 本发明涉及一种有源静电电场探头。所述探头包括前端探头和电荷传感器，所述前端探头包括感应金属片(1)，所述感应金属片(1)下方设置有环形的压电薄膜(2)，该压电薄膜(2)通过相应的环形导电环(3)经电阻(14)与第一转接头(9)连接；所述感应金属片(1)上加有静电电压，并通过导引电极(4)经电阻(14)与第二转接头(17)连接。本发明的有源静电电场探头，其测量精度仅依赖于感应金属片电荷分辨率，其精度得到进一步提高；测量反应时间仅依赖于感应金属片受到电场作用时间，因此测量反应快；而且其结构简单，成本低廉，适用于真空转接环境。 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.nssc.ac.cn/handle/122/2169 |
| Collection | 保障部/保障与试验验证中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 全荣辉,韩建伟,张振龙,等. 一种有源静电电场探头[P]. 2012-01-01. |
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