NSSC OpenIR  > 空间环境部
满足空间极紫外仪器定标测试用实验室19.5nm极紫外光源系统
Application NumberCN200820080370.0
李保权; 张鑫; 彭吉龙; 曾智蓉
2009
Application Date2008-05-04
Date Available2009-03-04
Country中国
Abstract本实用新型涉及满足空间极紫外仪器定标测试用实验室19.5nm极紫 外光源系统,由极紫外光源设置在真空测试室外,极紫外光源通过极紫外 光源的出口法兰、真空插板阀、真空管道串连到真空测试室;多层膜反射 镜和待测仪器分别设置于真空测试室内组成,其中该多层膜反射镜的中心 与极紫外光源的出口法兰的轴线重合,待测仪器的视场角中心对准多层膜 反射镜的中心,使反射光线能够入射到待测仪器上。本实用新型提供的高 强度19.5nm实验室极紫外光源系统,用15000eV的微聚焦电子源轰击纯 铝靶,激发铝原子内壳层电子跃迁,产生大量极紫外辐射,然后通过Mo/Si 多层膜反射镜分光出高强度的19.5nm极紫外射线。该光源系统能够在实 验室条件下方便地满足空间极紫外探测仪器定标测试需要。
Language中文
Document Type专利
Identifierhttp://ir.nssc.ac.cn/handle/122/2187
Collection空间环境部
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GB/T 7714
李保权,张鑫,彭吉龙,等. 满足空间极紫外仪器定标测试用实验室19.5nm极紫外光源系统[P]. 2009-01-01.
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